Endüstri:Optoelektronik ve hassas optik
Uygulama:Wafer-Level Optics (WLO), Fresnel lensleri ve difraksiyon ızgaraları imalatı
Ekipman:Yüksek Tekdüzelikli UV LED Sel Tıkamı Sistemi (365nm Dalga Boyutu)
Yüksek teknolojili optik bileşen üreticisi, wafer düzeyinde mikro lens imalatının maruz kalma ve sertleştirme aşamasında verim oranları ile mücadele ediyordu.
-
Işınlama tutarlılığı:Geleneksel UV lambalar, büyük alt yüzeyler üzerinde ışık dağılımını sağlayamadı.
-
Termal Genişleme:Aşırı kızılötesi ısı, fotolitografi ve sertleştirme işlemi sırasında hassas sub-mikron lens yapılarını çarpıtmıştır.
Geleneksel cıva ampulleri veya dağıtım yöntemleri yerine,Yüksek Tekdüzelikli UV LED Sel Tutarlama SistemiÖzellikle yarı iletken sınıfı optik işleme için tasarlanmış:
-
Spin kaplı reçine maruz kalmak:Sistem, bir fotomaska aracılığıyla doğrudan spin kaplı fotoresist / UV reçine katmanına tam yüzey sel maruziyetini sağlar.
-
Gelişmiş Optik Tasarım:Özel tasarlanmış lensler ışık dağılımını optimize ederek endüstride önde gelen±3% içindeki ışınlama tekdüzeliğiTüm iyileştirme alanı boyunca.
-
Gerçek soğuk ışık kaynağı:Kesin bir hızda çalışıyorlar.365nm dar bant spektrum, sistem kızılötesi radyasyonu ortadan kaldırır ve mikrostrukturları termal deformasyondan korumak için substratı oda sıcaklığında tutar.
-
Kusursuz ürün tutarlılığı:Kenar sertleştirme eksikliklerinden kaynaklanan reddetme oranlarısıfır, ultra-eşit UV ışık alanı sayesinde.
-
Sub-mikron yapısal bütünlük:Termal stresin ortadan kaldırılması, yüksek hassasiyetli Fresnel lensleri için mükemmel boyutsal istikrar sağladı.
-
Üretim verimliliğinin arttırılması:Anlık UV LED açık / kapalı yetenekleri, yüksek hacimli yarı iletken hatları için verimi en üst düzeye çıkararak ısınma zamanlarını ortadan kaldırdı.
[Özel UV LED çözümü için uygulama mühendislerimizle iletişime geçin-Shenzhen Super- curing Opto-Electronic CO., Ltd.- Evet.



